E01.Cap 電容式測(cè)微儀是毫米級(jí)測(cè)量范圍、納米級(jí)測(cè)量精度的儀器。測(cè)微儀包括電感測(cè)微儀、電容測(cè)微儀、激光測(cè)微儀三種類型，主要用于高精度測(cè)量長(zhǎng)度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。 E01.Cap 電容式測(cè)微儀技術(shù)參數(shù)型號(hào) | E09.Cap | 單位 | 量程范圍 | 0~200 | μm | 線性度 | ±0.1 | μm | 靜態(tài)分辨率 | 2.5 | nm | 動(dòng)態(tài)分辨率（1kHz） | 100 | nm | 傳感器直徑 | 10 | mm | 小目標(biāo)直徑 | 10 | mm | 靜態(tài)重復(fù)性 | 5 | nm | 信號(hào)溫度穩(wěn)定性 | ＜ 0.005 | %FSO/℃ | 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | ＜ 0.04 | %FSO/ 月 | 帶寬 | 2 | kHz（-3dB） | 工作溫度范圍 | +10~+50 | ℃ | 環(huán)境濕度 | <85 | % | 電壓輸出范圍 | 0~+10 | V | 供電電壓 | 220VAC 50Hz±10% | | 傳感器線長(zhǎng) | 1.6 | m | 板卡尺寸：長(zhǎng)×高× 深 | 35×130×180 | mm | 機(jī)箱尺寸：長(zhǎng)×高× 深 | 280×170×360 | mm |
  原理
它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目 標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬 時(shí)，傳感器仍是線性的。 特性：  • 模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼
• 可提供單個(gè)板卡模塊 • 高分辨率 • 模擬輸出 • 非接觸式測(cè)量 應(yīng)用： • Z向水準(zhǔn)測(cè)量 • X, Y向定位 • 軸向振動(dòng)測(cè)量 • 熱膨脹測(cè)量 • 位移臺(tái)傳感器 |
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