特性 2~3維運動 位移行程40μm 體積小巧 亞毫秒響應時間 二、三維平移臺 P13壓電納米定位臺,包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個規(guī)格型號。 閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖 P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。 超小體積、無機械間隙、高分辨率 固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理,平行運動無機械間隙,該結構原理使其具有非常高的分辨率,運動直 線性好。 P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置(應變計傳 感器)消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用,是掃描應用的理想選擇。 |