壓電馬達(dá)內(nèi)部仍為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，它分為直線運(yùn)動(dòng)型及角度運(yùn)動(dòng)型，利用粘滑原理，通過壓電陶瓷的快速振動(dòng)，達(dá)到微納米級(jí)的步進(jìn)，總直線運(yùn)動(dòng)行程范圍可達(dá)幾百毫米，角度行程可達(dá)360度。 應(yīng)變傳感器主要用于測(cè)量一個(gè)結(jié)構(gòu)表面的形變，具有非常高的測(cè)量敏感度，可間接進(jìn)行力的測(cè)量，力的過程監(jiān)控等。 特點(diǎn)： · 行程：3.5mm-30mm · 分辨率：<1nm · 承載力：4kg-30kg MN技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品系列 | MN15(3.5mm) | MN15(10mm) | MN15(18mm) | MN30(30mm) | 單位 | 機(jī)械參數(shù) | 寬度 | 15 | 22 | 40 | 52 | mm | 高度 | 7 | 7 | 12.5 | 12.5 | mm | 深度 | 15 | 15 | 30 | 30 | mm | 行程 | 3 | 10 | 18 | 30 | mm | 重量 | 6 | 20 | 38 | 32 | g | 速度 | 1.5 | 1.5 | 1.2 | 1.2 | mm/s | zui大承載 | 動(dòng)量（Mx） | 4 | 4.5 | 5 | 5 | Ncm | 動(dòng)量（My） | 4 | 1.5 | 5 | 5 | Ncm | 動(dòng)量（Mz） | 4 | 3.2 | 5 | 5 | Ncm | 出力（Fx） | 3 | 3 | 4.5 | 4.5 | N | 承載（Fy, Fz） | 20 | 20 | 30 | 30 | N | 精度 | 偏航角度 | 20 | 20 | 20 | 20 | arc sec | 俯仰角度 | 60 | 60 | 60 | 60 | arc sec | 垂直度偏差 | 1 | 1 | 1 | 1 | μm |
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