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型號

P22.U3S

P22.U3K

單位

運動自由度

θx

θx

傳感器類型

SGS

-

標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~+120V）

2.5

同S

mrad±20%

4

同S

mrad±20%

偏轉(zhuǎn)分辨率

0.3

0.1

μrad

閉環(huán)線性度

0.2

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.1

-

%F.S.

空載諧振頻率(θx)

3

同S

kHz±20%

靜電容量

1.8

同S

μF±20%

材質(zhì)

鋼

同S

重量

80

同S

g±5%

1.5

同S

m±10mm

推薦使用芯明天科技“E00與E01模塊化控制器”；

型號

P33.T2S

P33.T4S

P33.T8S

P33.T2K
P33.T4K
P33.T8K

單位

θx,θy

θx,θy

θx,θy

θx,θy

SGS

SGS

SGS

-

2.5

5

10

同S

mrad±20%

3

6

12

同S

mrad±20%

0.2

0.4

0.6

0.1/0.2/0.3

μrad

0.15

0.2

0.3

-

%F.S.

0.05

0.1

0.15

-

%F.S.

3.7

3.3

3.1

同S

kHz±20%

2.6

1.6

1.0

同S

kHz±20%

3.6

7.2

14.5

同S

μF/軸±20%

鋼

鋼

鋼

同S

0.2

0.38

0.7

同S

kg±5%

38

56

92

同S

mm±0.1mm

1.5

1.5

1.5

1.5

m±10mm

底/側(cè)出線

底/側(cè)出線

底/側(cè)出線

底/側(cè)出線

型號

P32.ZT4S

P32.ZT4K

單位

Z,θx,θy

Z,θx,θy

SGS

-

5

同S

mrad±20%

30

同S

μm±20%

6

同S

mrad±20%

40

同S

μm±20%

2.4

1.2

nm

0.4

0.2

urad

0.2

-

%F.S.

0.05

-

%F.S.

2

同S

kHz±20%

1

1

kHz±20%

3.6

同S

μF/軸±20%

鋼

同S

0.35

同S

kg±5%

56

同S

mm±0.1mm

1.5

同S

m±10mm

底/側(cè)出線

底/側(cè)出線

zui大驅(qū)動電壓可在-20V~150V使用；長期使用建議在0~120V驅(qū)動電壓下可延長使用壽命。