產品名稱:P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格
產品型號:
產品特點:P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達187.5µm,定位分辨率可達3nm。P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調節(jié),階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的調整,定位精度達納米量級。
更新日期:2024-03-04
P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達187.5µm,定位分辨率可達3nm。
P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調節(jié),階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的調整,定位精度達納米量級。
兩款規(guī)格型號、開環(huán)/閉環(huán)可選
P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇,分別為100μm及187.5μm,可根據(jù)調整的運動范圍進行選擇。
另外,P79系統(tǒng)可提供開環(huán)及閉環(huán)版本。開環(huán)版本定位速度更快,且分辨率高;對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應用,可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器,裝配在平臺適合的位置,提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移,確保了定位精度。
特性
• 一維Z向運動,行程187.5μm • 承載2kg • 通孔尺寸:128.5×86.5mm • 開環(huán)、閉環(huán)可選 • 閉環(huán)重復定位精度高
外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 臺體采用機構放大式驅動設計,行程范圍大 |
大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、精密導向機構 | 頻率負載曲線 | 表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命 | |
P79系列壓電掃描臺具有方形通孔,通孔尺寸為128.5×86.5mm,這種大通孔設計主要是為了滿足各種樣品夾持結構,如多井控制盤。 壓電陶瓷驅動以及無摩擦柔性鉸鏈結構使其具有快的響應速度,Z軸步進速度和穩(wěn)定時間僅為馬達驅動的1/20,提高了成像捕獲能力和生產能力。 |
| 壓電掃描臺采用高*性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。
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