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產(chǎn)品名稱：XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm

產(chǎn)品型號：

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產(chǎn)品特點：XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm
XP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點。內置高分辨率SGS傳感器進行全閉環(huán)運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。

更新日期：2021-09-08

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XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm的詳細資料：

XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μmXP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點。內置高分辨率SGS傳感器進行全閉環(huán)運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。

XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm

特性

• 大行程60μm • 亞毫秒響應時間 • 大承載10kg • 1~3維自由組合 • 重復定位精度可達0.05%F.S.

1~3維平移	產(chǎn)品外觀	直驅機構式驅動示意圖

大負載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性

傳感器類型

頻率負載曲線

XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅機構，優(yōu)異的柔性鉸鏈設計，具有高剛度、高頻響等特點，剛度可達40N/μm，空載諧振頻率高達4.2kHz，適用于需要大負載、高頻率需求的應用，如電化學加工等。
XP-62X系列壓電平臺內置帶有預緊力的封裝型壓電陶瓷，平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導向機構，無磨損、免維護，提供*的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品易于與其他宏動臺產(chǎn)品集成配套，實現(xiàn)更大行程的精密定位。

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