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產(chǎn)品名稱:三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):XP-62X

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電定位臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有好的控制精度,分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí),壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。

更新日期:2022-11-17

XP-62X三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)的詳細(xì)資料:

    三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電定位臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化,柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有好的控制精度,分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí),壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。

特性:

 1~3維自由組合

• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級(jí)

• 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

1-3維平移臺(tái)

    P63系列壓電納米定位臺(tái),包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運(yùn)動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

 

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 納米定位

• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測(cè)試 • 微車削

• 原子力顯微鏡

 

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

   P63系列壓電納米定位臺(tái)重要的特點(diǎn)是超級(jí)精密 且體積非常小巧,尺寸僅為30×24×42mm(X軸尺寸 為30×24×21mm),易于集成到任何掃描儀器中。

   P63系列納米定位臺(tái)是超高精密納米定位系統(tǒng),是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計(jì)的,具有超低慣性,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms,可配置 高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

 

應(yīng)用實(shí)例

   P63三維納米定位臺(tái)已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺(tái)切削 力測(cè)試實(shí)驗(yàn)中。

三維XYZ向壓電納米定位臺(tái)技術(shù)參數(shù):

 

 

型號(hào)

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P63.X7S

P63.X7K

P63.Z7S

P63.Z7K

P63.XY7S

P63.XY7K

P63.XZ7S

P63.XZ7K

P63.XYZ7S

P63.XYZ7K

 

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

5.5

5.5

5.5/軸

5.5/軸

5.5/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

8

8

8/軸

8/軸

8/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

閉/開環(huán)分辨率

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

nm

閉環(huán)線性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<5

<5

<10

<10

<15

µrad

推/拉力

10/2

12/2

8/2

9/2

7/2

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

1.5

2

X1.2/Y1.4

X1.2/Z1.5

X0.9/Y1/Z1.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

2

2.5

X1.3/Y1.9

X1.5/Z1.6

X0.9/Y0.95/Z1.2

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

1000

1000

500

500

200

 

Hz±20%

行程

200

200

100

100

50

大承載

0.8

0.8

0.5

0.5

0.4

kg

靜電容量

0.8

0.8

0.8/軸

0.8/軸

0.8/軸

μF±20%

材質(zhì)

 

重量

70

70

120

120

160

g±5%

 

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。

 
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