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芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)特性

1~3維自由組合

大行程68μm

大承載5kg

重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

1-3維平移臺(tái)

XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)可以通過(guò)疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號(hào)可選。
柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。

體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。例如XP-630帶動(dòng)20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí)間僅為5ms。

XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺(tái)設(shè)備集成。閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò) PID 算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái)應(yīng)用實(shí)例

采用XP-633壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。