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P63系列壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

特性

•  1~3維自由組合

•  位移行程8μm

•  zui大承載0.8kg

•  重復(fù)定位精度可達(dá)納米級(jí)

•  亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

1-3維平移臺(tái)

P63系列壓電納米定位臺(tái)，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運(yùn)動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應(yīng)用

•  顯微成像                     •  納米定位

•  生物技術(shù)                     •  半導(dǎo)體技術(shù)

•  質(zhì)量保證測(cè)試              •  微車(chē)削

•  原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

P63系列壓電納米定位臺(tái)zui重要的特點(diǎn)是超級(jí)精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×30×42mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺(tái)是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

頻率負(fù)載曲線

應(yīng)用實(shí)例

P63三維納米定位臺(tái)已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺(tái)切削力測(cè)試實(shí)驗(yàn)中。 

P63.XYZ技術(shù)參數(shù)

壓電納米定位臺(tái)的應(yīng)用舉例

光纖端面檢測(cè)

光纖連接處出現(xiàn)問(wèn)題是網(wǎng)絡(luò)故障的主要原因，因此光纖端面的檢測(cè)至關(guān)重要。

壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)鏡片做精密運(yùn)動(dòng)，配合顯微鏡完成對(duì)光纖端面質(zhì)量的干涉檢測(cè)。

光纖對(duì)接

將光纖固定在壓電納米定位臺(tái)上，通過(guò)壓電納米定位臺(tái)的精密移動(dòng)對(duì)光纖端面進(jìn)行三維位置調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)光纖的精密對(duì)接。

硬盤(pán)測(cè)試

快速、準(zhǔn)確的讀取計(jì)算機(jī)硬盤(pán)磁道的寬度對(duì)于提高硬盤(pán)存儲(chǔ)信號(hào)密度和讀取時(shí)間非常重要，壓電納米定位臺(tái)納米級(jí)定位精度為高精度磁盤(pán)磁道定位提供了解決方案。

電化學(xué)加工

在電化學(xué)腐蝕加工中，通過(guò)微動(dòng)平臺(tái)Z向微小移動(dòng)，帶動(dòng)懸臂梁懸掛加工件上下移動(dòng)，完成與電解液的接觸，從而實(shí)現(xiàn)腐蝕加工。

3D錫膏檢測(cè)

錫膏測(cè)厚儀是一種利用光柵投影技術(shù)，將印刷在PCB板上的錫膏（紅膠）厚度、面積、體積等分布測(cè)量出來(lái)的設(shè)備。為了收集和高度有關(guān)的信息，在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)光柵移動(dòng)4次，移動(dòng)一次拍攝一組圖像，zui終合成一組圖像顯示出測(cè)試結(jié)果。