S23.ZT0S/K25小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡
S23.ZT0S/K25系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一款小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡,可進行θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)和Z向升降運動,偏轉(zhuǎn)角度可達±0.5mrad/軸 ,直線位移可達20.5μm,能夠滿足多種角度對光路調(diào)節(jié)的需求??蛰d諧振頻率可達4.2kHz,可以在短的時間內(nèi)完成快速響應(yīng),實現(xiàn)高頻次的光路調(diào)整。閉環(huán)偏擺分辨率可達0.03μrad,直線可達1nm,能夠精準(zhǔn)把控極其微小的角度變化,確保光路調(diào)節(jié)的超高精準(zhǔn)度。小體積的緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計,能夠更輕松集成到各種對空間要求嚴(yán)苛的光學(xué)系統(tǒng)中,無論是小型化的科研儀器,還是對設(shè)備尺寸有嚴(yán)格限制的工業(yè)應(yīng)用場景,都能高度契合,為系統(tǒng)集成化設(shè)計提供了極大的靈活性。
產(chǎn)品特點
θx、θy偏轉(zhuǎn),Z軸升降
偏擺位移可達±0.5mrad/軸
直線位移可達20.5μm
空載諧振頻率可達4.2kHz
中心通孔φ25.4mm
典型應(yīng)用
航空航天——衛(wèi)星激光通信
在衛(wèi)星光通信中,由于大氣中的環(huán)境因素(如折射、散射、大氣湍流等)和激光束自身光束窄、發(fā)散角度小等問題,使得激光光束在瞄準(zhǔn)過程中容易偏離目標(biāo),導(dǎo)致通信狀況差。壓電偏擺鏡由于精度高、響應(yīng)速度快的特點可以很好的校正誤差。
精密加工——激光加工
在微米級小孔的超快激光加工應(yīng)用中,對精度的要求非常高,壓電偏轉(zhuǎn)鏡由于其精度高、響應(yīng)速度快等特點,集成在激光加工系統(tǒng)中,可以將加工精度低、孔徑不圓滑等問題解決。
顯微成像——超分辨顯微成像
在光學(xué)顯微鏡應(yīng)用中,壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以在系統(tǒng)內(nèi)帶動鏡片偏轉(zhuǎn),進行光路轉(zhuǎn)向調(diào)整,用于獲取更清晰、均勻且對比度更高的圖像,大幅提高顯微鏡的分辨率和精度,從而實現(xiàn)更加精準(zhǔn)的樣品觀察和分析。
型號 | S23.ZT0S/K25 |
運動自由度 | θx、θy、Z |
驅(qū)動控制 | 3路驅(qū)動,3路傳感/3路驅(qū)動 |
標(biāo)稱直線行程范圍 (0~120V) | 16.5μm |
Max.直線行程范圍 (0~150V) | 20.5μm |
標(biāo)稱偏擺角度(0~120V) | ±0.4mrad/軸(≈±82秒) |
Max.偏擺角度(0~150V) | ±0.5mrad/軸(≈±103秒) |
傳感器類型 | SGS/- |
通孔 | 25.4mm |
直線分辨率 | 1nm/0.5nm |
偏擺分辨率 | 0.03μrad(<0.01 秒) /0.01μrad(<0.01 秒) |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | θx0.03%F.S. /θy0.06%F.S. |
空載諧振頻率 | 4.2kHz |
帶載諧振頻率@50g | θxθy3.7kHz/Z2.3kHz |
承載能力 | 50g |
靜電容量 | 2μF/軸 |
階躍時間 | 10ms@50g,滿幅值 |
材質(zhì) | 鋼 |
出線長 | 1.5m |
重量 | 250g |
E70.D3S/C3K-L壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電控制器,它采用DC24V3A直流供電,帶寬10kHz/通道,可通過RS-232/422、USB、百兆以太網(wǎng)進行數(shù)字通信,非常適用于驅(qū)動S23.ZT0S/K25壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
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