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新品推薦|N18.Z5K小體積直線馬達,Z向升降!

更新時間: 2024-09-19

N18.Z5K壓電馬達內部采用粘滑原理驅動,將壓電陶瓷的微變形量,通過特殊結構設計,輸出宏動直線毫米行程,實現(xiàn)高精度定位。N18.Z5K為Z向升降式壓電馬達平臺,行程可達5mm,分辨率可達6nm,速度可達3mm/s,可在真空、低溫、無磁的應用環(huán)境中使用。它的運動形式為整體運動面做Z向升降,可使帶載樣品四周不受遮擋,其尺寸僅為24×24×20mm^3,專為空間受限的應用而設計。產品外觀如下圖所示。

產品特點

Z向運動

行程可達5mm

分辨率可達6nm

負載能力可達0.15kg

速度可達3mm/s

真空、低溫、無磁環(huán)境適用
產品應用

超分辨成像樣品移動

光纖對接

納米聚焦與掃描

原子力顯微鏡

半導體精密定位

微納裝備及制造

技術參數(shù)

型號

N18.Z5K

運動自由度

Z

標稱行程范圍

5mm

速度上限(任意方向)

3mm/s

分辨率

6nm

推/拉力

3N

保持力(斷電自鎖)

5N

負載(水平方向)

0.15kg

加載后速度上限(水平方向)

3mm/s@150g

負載(垂直方向)

0.1kg

加載后速度上限(垂直方向)

2mm/s@100g

工作溫度

0~50℃

電纜長度

1.5m

材質

重量

40g

E53.C1K-J壓電控制器適用于驅動N18.Z5K壓電馬達,它是單通道開環(huán)壓電控制器,采用數(shù)字控制,24VDC供電,靜態(tài)功耗小于5W,通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232,操作便捷,尺寸僅105×103×30.1mm^3,外觀體積小巧,結構緊湊,易于集成。

配套控制器

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