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80A14機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器

更新時(shí)間： 2023-09-20

機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器是通過(guò)疊堆式壓電陶瓷進(jìn)行機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，與柔性鉸鏈支撐結(jié)構(gòu)、放大結(jié)構(gòu)及外殼結(jié)構(gòu)組合成一體，將壓電陶瓷的直線位移進(jìn)行放大，并在其位移的垂直方向進(jìn)行輸出的促動(dòng)器，且具有微位移分辨率高、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點(diǎn)。與直驅(qū)壓電促動(dòng)器相比，在相同條件下，機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器產(chǎn)生的位移更大，出力會(huì)相對(duì)小。

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的80A14機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器，是利用鋼制外橢圓形機(jī)械放大結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，既可以對(duì)壓電疊堆陶瓷提供優(yōu)化預(yù)緊力，也可起到保護(hù)作用，避免內(nèi)部壓電疊堆陶瓷承受過(guò)大的拉力導(dǎo)致?lián)p壞。80A14機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器行程可達(dá)105μm，空載諧振頻率1700Hz，倒置承載能力高達(dá)50kg，產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

行程可達(dá)105μm

倒置承載高達(dá)50kg

出力＞1000N

空載諧振頻率高

納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品應(yīng)用

• 視光學(xué)：探針掃描、光學(xué)透鏡的定位、光開關(guān)、快門/快門防抖、微掃描、晶片測(cè)試、天文學(xué)、聚焦定位、激光腔調(diào)諧、光纖的耦合和形變、FBG（光纖布拉格光柵）的形變、斬波器、干涉儀、PDP晶體切割、調(diào)制器等。

• 機(jī)械學(xué)：光纖拉伸、工具定位、取放工具、金剛石車削、橢圓活塞加工、阻尼、動(dòng)態(tài)控制、新一代超聲波或聲波振動(dòng)、NDT、器件疲勞度監(jiān)測(cè)等。

• 流體學(xué)：比例閥、泵、測(cè)流技術(shù)、噴墨技術(shù)、注射器、液滴發(fā)生器等。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	80A14
運(yùn)動(dòng)方向	Z
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	84μm
行程范圍（0~150V）	105μm
開環(huán)分辨率	4nm
推力上限	＞1000N
剛度	13N/μm
靜電容量	44μF
承載能力	50kg（倒置承載）
空載諧振頻率	1700Hz
材質(zhì)	鋼
出線長(zhǎng)	＞1.5m