壓電陶瓷的典型應(yīng)用案例
芯明天壓電陶瓷是以PZT鋯鈦酸鉛為材料的PZT壓電陶瓷,具有正壓電效應(yīng)及逆壓電效應(yīng)。芯明天壓電陶瓷的應(yīng)用可覆蓋半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信、集成光學(xué)、生物科技、生命技術(shù)、精密加工、測量、激光技術(shù)、光學(xué)檢測、摩擦學(xué)、新藥設(shè)計、醫(yī)療技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲技術(shù)、天文、自適應(yīng)光學(xué)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動化、顯微與成像、航天、圖像處理、低溫與真空環(huán)境等。
光束跟蹤
自動激光束定位跟蹤運(yùn)動物體,在生物學(xué)應(yīng)用中,將激光束用于細(xì)胞刺激。需要實時控制激光束的位置以跟蹤細(xì)胞的運(yùn)動,而由于熱效應(yīng)或外部振動,很難實現(xiàn)將激光束保持在細(xì)胞上的重要要求。
使用兩套壓電陶瓷驅(qū)動的兩軸壓電偏轉(zhuǎn)鏡及位置探測器,壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)鏡可根據(jù)位置探測器的信號實時調(diào)節(jié)光束的位置,調(diào)節(jié)速度可達(dá)幾毫秒,頻率可達(dá)百赫茲。
微操作
在集成顯微鏡與微操作探針的顯微系統(tǒng)中,對樣品的微操作精度要求非常高。
利用壓電陶瓷促動器及壓電陶瓷平臺進(jìn)行微操作調(diào)節(jié),可獲得XYZ三維百微米操作范圍,以及10微米探針直線運(yùn)動調(diào)節(jié),通過軟件即可完成控制。
利用白光干涉法進(jìn)行結(jié)構(gòu)的三維表面檢測。例如,對發(fā)動機(jī)結(jié)構(gòu)的三維檢測,發(fā)動機(jī)氣缸表面的珩磨是延長內(nèi)燃機(jī)壽命、減少污染和節(jié)約資源的常用方法。珩磨過程非常復(fù)雜,需對這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的檢測分析。
利用芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器,使得物鏡進(jìn)行非常的移動,步進(jìn)精度在2.5nm,聚焦范圍可達(dá)550μm,用于產(chǎn)生高分辨率圖像。在芯明天壓電陶瓷控制器的控制下,可進(jìn)行步進(jìn)掃描或連續(xù)掃描。
光束調(diào)整
同步加速器的用戶對輸出光束有不同的要求。其中一個非常重要的方面是調(diào)整光束方塊的大小。 一般通過交換不同尺寸的針孔孔徑來改變孔徑尺寸,但該方法實現(xiàn)不方便且費(fèi)時。
利用兩個芯明天XY運(yùn)動的壓電陶瓷定位臺,正交定向放置,可在幾百微米至1毫米范圍內(nèi)調(diào)整光束的面積,精度可達(dá)幾納米,可在幾毫秒內(nèi)非常地提供不同尺寸的光束方塊,起到光束快門的作用,在準(zhǔn)直器中調(diào)節(jié)輸出光束的尺寸。
計量學(xué)
表面形貌對于質(zhì)量檢驗是至關(guān)重要的。
先進(jìn)的技術(shù),如三維測量顯微鏡。通過集成芯明天Z向壓電陶瓷納米定位臺,可將分辨率提高到幾納米,具有非常和可重復(fù)的運(yùn)動。
計量顯微鏡
使用白光干涉儀對表面進(jìn)行非接觸式3D檢測。
表面檢測對于無數(shù)工業(yè)和研究領(lǐng)域的許多制造工藝都很重要。光學(xué)測量方法提供低至幾納米的分辨率。這種景深需要使用高分辨率壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器。
芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器的負(fù)載能力達(dá)0.5kg,且兼容蔡司、徠卡、尼康、奧林巴斯等廠商的物鏡。
AFM顯微鏡
基于壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)。
通過使用三維壓電陶瓷納米定位臺,可在百微米范圍內(nèi)移動探頭,具有非常高的分辨率,且壓電陶瓷具有超快的響應(yīng)時間,可快速地生成圖像。
地質(zhì)學(xué)
井中的快速孔隙壓力測量。活塞在伸出位置和縮回位置之間振蕩,并產(chǎn)生資源(例如油)的流體運(yùn)動。 這種流體運(yùn)動通過地層的孔隙噴射并提供快速和的孔隙壓力測量。井底組件中使用的部件必須能夠承受嚴(yán)苛的條件,如高溫高壓等。
采用芯明天壓電陶瓷促動器,可承受的高溫可達(dá)200℃,在高壓下不會造成嚴(yán)重的性能損失。
生物顯微學(xué)
在傳統(tǒng)的顯微鏡中,分辨率的極限是光波長的一半。
在顯微鏡系統(tǒng)中集成芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器,可得到超分辨率步進(jìn)顯微鏡,滿足藍(lán)光200nm分辨率要求。
光譜學(xué)
光束線具有非常高的挑戰(zhàn)性要求。其中,和第二晶體的平行度必須大于90nrad的步長,在百微米行程范圍內(nèi)的分辨率必須優(yōu)于1nm。
由于晶體的高質(zhì)量和高熱負(fù)荷,還需要*的剛度。
通過使用芯明天封裝壓電陶瓷促動器可在四次彈跳式水晶單色儀中保證高分辨率。并且芯明天可定制封裝壓電陶瓷促動器,可在真空4K的超低溫下使用。并可通過PID控制,形成閉環(huán)回路控制。
半導(dǎo)體
芯明天為半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行大型晶圓的切割及檢測。
通過使用芯明天壓電陶瓷物鏡驅(qū)動器,可調(diào)整激光聚焦加工的焦點,即切割加工點。分辨率可達(dá)2.5nm,聚焦范圍110μm,負(fù)載能力達(dá)0.5kg。
振動器/材料測試/振動激勵
封裝壓電陶瓷促動器具有大出力、高動態(tài)性的特點,空載諧振頻率可達(dá)40kHz,出力可達(dá)50000N。并且,封裝壓電陶瓷促動器體積小巧,易于集成,也非常適于材料測試、主動減振和振動激勵等應(yīng)用。
空間應(yīng)用
壓電陶瓷促動器的應(yīng)用不限于地球表面。壓電陶瓷促動器用于許多衛(wèi)星任務(wù)和空間站的實驗。 壓電陶瓷促動器可用于分析星球表面的結(jié)構(gòu)和機(jī)械特性,或用于檢測的傳感器。也可用于在衛(wèi)星上進(jìn)行望遠(yuǎn)鏡調(diào)節(jié)或主動減振或在空間站上進(jìn)行實驗等。
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