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近年來，隨著科學技術的發(fā)展，在半導體、精密測量、超精密加工和納米技術等領域對定位精度有著越來越嚴苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺作為技術。

為了實現(xiàn)納米級的精密定位，需要高精度的驅動方式和傳動方式，使定位臺達到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅動元件，柔性鉸鏈機構作為傳動裝置構成超精密定位系統(tǒng)可實現(xiàn)納米級精密定位。

芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機構的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機構中的應用，實現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。

柔性鉸鏈機構結構緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機構還可以提供適當?shù)念A緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

芯明天壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。

產品應用

超精密測量

采用芯明天壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實驗。

超精密機械加工

壓電納米定位臺帶動刀具微納米級進給，從而實現(xiàn)光學非球面、微結構及模具納米級超精密加工。