芯明天超高精度P21壓電旋轉臺
芯明天新推出P21系列壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺,產(chǎn)品體積小巧,大旋轉角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉運動。
特性
·θz旋轉
·大旋轉角度8.5mrad
·閉環(huán)定位精度高
·體積小巧
典型應用
·光路調整
·光束掃描
·干涉/計量
小體積、高分辨率、高精度
P21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理,可以實現(xiàn)大8.5mrad的旋轉,體積小巧、結構緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉設備中。
采用壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用柔性鉸鏈機構,無摩擦、無回差,可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度,在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。
技術參數(shù)
P21.R7S
運動自由度:θz
標稱旋轉角度(0~120V):6mrad(~1200秒)
大旋轉角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)
傳感器類型:SGS
閉環(huán)分辨率:0.4μrad(~0.08秒)
閉環(huán)線性度:0.5%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.2%F.S.
推/拉力:10/5N
運動方向剛度:1N/μm
空載諧振頻率:1.1kHz
大承載:2kg
靜電容量:1.8μF
材質:鋁
重量:105g
應用實例
P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用,組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉定位操作。
推薦控制器
P21為θz一維壓電旋轉臺,單通道壓電控制器即可驅動控制,閉環(huán)版本P21推薦配套E01系列閉環(huán)控制器,實現(xiàn)θz高精度旋轉定位控制。
E01.D1壓電控制器
·E01.D1
·0~120V/150V輸出
·平均功率7W/35W
·上位機通信、模擬、旋鈕控制
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