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壓電掃描管掃描器在AFM原子力顯微鏡中的應(yīng)用

更新時(shí)間: 2018-05-17

背景

隨著納米科技的不斷發(fā)展,原子力顯微鏡由于其自身的諸多優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于微觀領(lǐng)域的觀測(cè)與操作,AFM等微納米級(jí)測(cè)量?jī)x器已成為微納米研究工作者重要的科研工具。原子力顯微鏡的掃描精度在很大程度上取決于內(nèi)部壓電陶瓷管掃描器的性能以及壓電控制器的控制精度。

 

AFM原子力顯微鏡

 

AFM原子力顯微鏡原理

AFM原子力顯微鏡是由力學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、位置檢測(cè)部分、反饋系統(tǒng)三個(gè)部分組成,使用微小懸臂來(lái)感測(cè)針尖與樣品之間的交互作用,這種作用力會(huì)使得懸臂梁擺動(dòng),再利用激光將光照射在微懸臂梁的末端,當(dāng)擺動(dòng)形成時(shí),會(huì)使反射光的位置改變而產(chǎn)生偏移量,此時(shí)激光檢測(cè)器會(huì)記錄此偏移量,也會(huì)把此時(shí)的信號(hào)給反饋系統(tǒng),以利于系統(tǒng)做適當(dāng)?shù)恼{(diào)整,zui后再將樣品的表面特性以影像的方式呈現(xiàn)出來(lái)。

 

AFM原理圖

 

壓電陶瓷管掃描器的作用

壓電陶瓷管掃描器載著樣品在X-Y平面內(nèi)做微小運(yùn)動(dòng),樣品到針尖的距離會(huì)隨著樣品表面形貌的變化而變化,該距離的變化將改變樣品和針尖之間的原子力,原子力的變化會(huì)使得懸臂梁產(chǎn)生法相形變。

通過(guò)激光反射路徑的變化檢測(cè)出微懸臂梁的反向形變程度,相應(yīng)調(diào)整Z向壓電陶瓷保證樣品和針尖的原子力保持恒定。

 

由此我們可以看出,實(shí)現(xiàn)X-Y-Z空間三個(gè)方向定位的壓電陶瓷管掃描器在工作過(guò)程中非常重要,他們的參數(shù)指標(biāo)直接影響到整個(gè)原子力顯微鏡的掃描成像精度。

 

 

壓電陶瓷管掃描器結(jié)構(gòu)

壓電陶瓷管掃描器為徑向極化電極分割的壓電陶瓷管,通常采用四分區(qū)進(jìn)行分割,可以實(shí)現(xiàn)XYZ三維運(yùn)動(dòng)。也可以根據(jù)客戶的要求定制進(jìn)行多區(qū)域分割。

 

 

四分區(qū)壓電陶瓷管工作原理:

壓電陶瓷管掃描器為徑向極化壓電陶瓷,內(nèi)部為一個(gè)電極,外部四個(gè),當(dāng)對(duì)外部的某一個(gè)區(qū)域加載正電壓,該區(qū)域軸向收縮,相對(duì)另一側(cè)加載負(fù)電壓,該區(qū)域伸長(zhǎng),壓電陶瓷管會(huì)產(chǎn)生一個(gè)平移運(yùn)動(dòng)。當(dāng)外部四個(gè)分區(qū)全部加載正電壓,壓電陶瓷管軸向收縮,當(dāng)內(nèi)部加載滿幅值負(fù)電壓,壓電陶瓷管收縮到zui大位移。

 

 

壓電陶瓷尺寸、電極材料可選

芯明天可以提供多種尺寸結(jié)構(gòu)以及鎳或金等不同電極材料的壓電陶瓷管掃描器。

 

外徑

壁厚

高度

1.524mm

2.54mm

3.175mm

6.35mm

9.525mm

0.254mm

0.3048mm

0.381mm

0.508mm

0.762mm

3.175mm至

76.2mm

 

掃描范圍如何計(jì)算

 

壓電陶瓷管掃描器XYZ軸單側(cè)掃描范圍可以通過(guò)以下公式計(jì)算得出:

 

產(chǎn)品實(shí)例

我們?yōu)橛脩籼峁┑牟煌叽绲膲弘娞沾晒軖呙杵?,滿足不同應(yīng)用需求。

 

 

驅(qū)動(dòng)控制方式

XY軸掃描運(yùn)動(dòng):需要四通道分別對(duì)四個(gè)區(qū)域進(jìn)行雙極性驅(qū)動(dòng)。

Z軸掃描運(yùn)動(dòng):需要對(duì)外部四個(gè)區(qū)域加載正電壓,內(nèi)部接地或者內(nèi)部加負(fù)電壓(內(nèi)壁不可以加正電壓)。

我們推薦采用我公司模塊化E01系列雙極性壓電控制器產(chǎn)品,具有模塊化組合,多通道輸出,分辨率高、紋波小等優(yōu)點(diǎn),可以滿足AFM原子力顯微鏡對(duì)壓電陶瓷管掃描器高速、高分辨率的應(yīng)用需求。

 

?

 

壓電材料

用戶可以根據(jù)需求選擇不同的壓電陶瓷材料,目前zui常用的壓電陶瓷管選用的是PZT-5H材料,具體參數(shù)見(jiàn)下表:

 

性能

符號(hào)

參數(shù)

單位

壓電常數(shù)

d33

585

10-12m/V

d31

-265

10-12m/V

g33

19.7

10-3Vm/N

g31

-8.5

10-3Vm/N

機(jī)電耦合系數(shù)

Kp

0.65

NA

K33

0.75

NA

K31

0.39

NA

彈性常數(shù)

SE33

20.0

10-12m2/N

SE11

15.6

10-12m2/N

3400

@1kHz

居里溫度

Tc

195

°C

密度

ρ

7.5

g/cm3

 

 

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